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项目/Item |
单位/Unit |
参数Parameter |
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板卡参数： |
输入电压 |
VAC |
±15 |
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通信协议 |
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TCP/IP |
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输入接口 |
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网口 |
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环境要求 |
工作温度 |
°C |
25±10 |
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存储温度 |
°C |
‘-10~60 |
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湿度 |
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≤75%无结露 |
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振镜参数 |
工作偏转角 |
° |
±11 |
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重复标刻精度 |
urad |
22 |
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最大增益漂移 |
ppm/k |
12 |
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最大位置漂移 |
urad/k |
15 |
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8小时连续工作漂移 |
mrad |
≤0.3 |
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最大加工速度 |
mm/s |
5000 |
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上升时间 |
ms |
≤1.0 |
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光学参数 |
激光介质 Laser |
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Fiber |
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波长 Wavelenth |
nm |
10600 |
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镀膜 Coating |
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增透膜 |
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Incident Spot Diameter |
mm |
15 |
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振镜通光直径 |
mm |
30 |
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结构参数 |
系统尺寸 |
mm |
460X178X195 |
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重量 Weight |
KG |
9.5 |
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工作范围(mm*mm) |
光斑直径1/e²（um） |
工作距离(mm) |
F-θ平场镜 |
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100*100 |
181 |
165 |
无 |
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250*250*10 |
304 |
309.385 |
无 |
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500*500*150 |
568.2 |
618.771 |
无 |
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750*750*300 |
832 |
928.157 |
无 |
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1000*1000*500 |
1096 |
1237.543 |
无 |
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1250*1250*700 |
1360 |
1546.929 |
无 |
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1500*1500*900 |
1625 |
1856.315 |
无 |
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2000*2000*1400 |
2145 |
2475.086 |
无 |
说明：
1、音圈电机最短距离与最长距离计算中，需要加上音圈电机与正透镜的基础距离，基础距离为45mm；
2、工作距离是按照系统底座到工作平台的高度来计算的；
3、基准面距离是按照Y振镜中心点到工作平台的高度来计算的；
4、最短距离和最长距离间的位置为音圈电机在该平面的工作位置，最短距离和最长距离的中心最好能够装配到音圈电机的中心位置。
