振镜在激光微加工中的应用

      微加工应用涵盖的行业非常广泛,其中包含3C行业,显示面板行业,5G通讯行业,新能源行业等。加工的主要材料有金属,非金属以及各种富有挑战性的材料(陶瓷,玻璃,蓝宝石)。随着激光加工行业的不断发展,激光微纳加工已经替代传统加工方式,实现激光切割、打孔、焊接、标记、微纳结构和去除五项全激光的加工工艺,达到加工效率和效果双提升。目前,大尺寸、高精度的激光微纳加工已成为不可或缺、甚至是唯一可行的加工工具,未来加工要求更高,微纳加工将不断优化。大族思特自主研发的高精密光电和光栅振镜适用于各种材料微加工处理。

Extrascan I/II是国内首款全数字扫描振镜,性能卓越,主要适合对精度和漂移要求高的客户。
10/14/20/30mm孔径2D振镜
自主研发高精度光栅编码器,打破国外技术垄断
23bit分辨率数字电机实现卓越的定位精度和重复定位精度
支持振镜位置监测和位置反馈,实时检测振镜状态,确保振镜安全可靠运行
基于FPGA的数字驱动板配置灵活,可以匹配从10-30mm不同负载的振镜电机
全数字设计和独特的水冷设计保证极低的漂移和极高的稳定性